Advantages
- 透明(透過率90%)でフレキシブル(曲率半径25mm)な、数十~数百GHz帯域アンテナ
- 青色半導体レーザー(波長405 nm)による室温・常圧環境下での直接描画プロセスであり、高価な真空装置やフォトマスクは不要
- 線幅は、レーザーパワーと描画速度で4μm以下(視認できない)に制御
- シート抵抗が5〜15 Ω/sqと、ITOより優れる
Current Stage and Data
- 試作による基礎的な実証データを取得済み:
・市販のフレキシブルガラス基板上に独自のAg+含有ポリマーを薄膜状に塗布し、波長405 nmのCWレーザーでAgを析出させて金属細線を直接パターニング
・メッシュの金属線は可視光透過率90%で目視されない
・シート抵抗は5〜15 Ω/sq
Partnering Model
- 本技術を用いて特定の用途に応じたアンテナを共同開発する、アンテナメーカー/通信機器メーカーを探している
- 発明者は大学発ベンチャーの設立を構想しており、Ag+含有ポリマーやレーザー加工装置を提供可能
Principal Investigator
小野 篤史(教授、静岡大学大学院 工学研究科 電子物質科学専攻)
Patents and Publications
- 特許
・特許第6715508号 「金属微細構造体の製造方法」
・特許第7723424号 「透明電極を製造する方法」
- 主要論文・学会発表
・Toriyama, S., Mizeikis, V., and Ono, A., “Fabrication of silver nanorings using photo-reduction induced by femtosecond pulses,” Applied Physics Express. Vol. 12, No. 1, (2019) 015004.